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国内首条超高纯铝溅万能试验机变形测量的工作原理射靶基材生产线实现批量生产

【铝道】在全国人民抗击新冠肺炎疫情的关键时期，新疆众和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生产经营。日前，该公司成功开发出了国内领先的全套超高纯铝溅射靶基材生产工艺和技术，成为独立于欧洲海德鲁铝业公司、日本住友化学体系公司外的第三条完整产业链。通过多方验证，产品全面符合市场要求，成功实现了批量供货。

高纯溅射靶材是伴随着半导体工业发展而兴起的产业，因此，集成电路产业则是目前高纯溅射靶材的主要应用领域之一。半导体靶材作为制备集成电路的关键原材料，也是技术要求*高的靶材，因此人们也将半导体用压力仪表靶材基材制备称为材料制备工业王冠上的明珠。

长期以来，虽然我国拥有铝基生产溅射靶材所需的各种基础矿源，但金属提纯技术却主要由美国、日本、挪威、法国等国家掌握。国内靶材厂商也仅仅只能通过国外进口获得高纯金属及基材筛粉机供应，每年进口量达数千吨，价格较高且不能实现及时交货。面对国外技术封锁、国内没有相应技术基础的情况下，新疆众和决定开启超高纯铝溅射靶基材的研发之路。

新疆众和作为我国铝电子新材料研制企业，是国内*早规模开发、生产高纯铝的企业，已经积累了30余年的高纯铝研发生产经验。在新疆众和针对超高纯铝溅射靶基材研发的10余年中，通过与集成电路相关企业承担国家专项项目联合研发，并建设超高纯铝溅射靶基材中试工厂，相继克服了超高纯铝（5N5）规模生产过程中杂质元素污染、产品表面质量及内部晶粒组 织细化控制、氢含量必须小于0.1深孔钻ppm、晶粒取向控制等一系列难题，*终打通了超高纯铝溅射靶基材的工艺技术，实现了铝纯度可达到99.9995%（5N5），成为国内唯 一一家可以规模生产超高纯铝溅射靶基材企业。

此外，新疆众和与东北大学联合申报的 洁净、细晶5N5超高纯铝的制备关键技术进水管及应用 项目还荣获了2019年中国有色金属工业科学技术奖一等奖。